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AIで3次元ナノ計測を高速化に成功

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東北大学多元物質科学研究所(IMRAM)の陣内浩司教授と樋口剛志助教は2018年4月、防衛大学校の萩田克美講師と共同で、集束イオンビーム-走査型電子顕微鏡(FIB-SEM)による3次元ナノ計測を、高い解像度で高速に行える技術を開発したと発表した。この技術はディープラーニング(深層学習)などAI(人工知能)技術を用いることで実現した。
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